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计画合作 / 教育部计画

年度 专案案名 负责人 身分 总金额 合作单位
95
130950048 2006-08-01 ~ 2007-07-31
以光学邻近修正为方法之?米级制程可制造性导向设计研究-子计画二:交替式相偏移光罩之最佳化布局设计之研究(1/2
黎靖 主持人 649,000 国科会